時流に乗る「強い企業」半導体狙う

微細化支える薬液配管

淀川ヒューテックは、フッ素樹脂を用いた部品製造などを手がける。現状は売上高の６―７割が半導体関連で、半導体製造装置メーカーや装置に使用される機器メーカー向けなどに部品を製造している。また自社製品として、半導体製造装置などに使うフッ素樹脂を用いた薬液配管「ナノリンクシステム」も２０１６年から販売。ナノリンクシステムに対応した装置や機器も増えてきた。

半導体の微細化に伴い、半導体製造装置もより高純度化が求められている。従来の半導体製造プロセスでは装置や機器同士の薬液配管をチューブでつなげ、継ぎ手部品で外側から締めるのが一般的。ただこの方法ではチューブ内で段差ができて液だまりが発生し、異物が滞留する可能性がある。半導体の微細化が進むほど、このことが製造に影響する可能性が高まってきた。

設備や機器同士を直接つなげられるよう製品化したナノリンクシステムは、流体工学研究所（兵庫県宝塚市）との共同研究。各機器との接続に、配管部品に独自の特殊シール構造を用いた。配管内の段差を抑え、液だまりの発生を防止。同時にチューブを不要として省スペース化も実現した。既存のチューブなどを使った接続と比べ「体積を約３２％削減できた例もある」（奥野哲取締役ＳＥＰ営業部長）という。

淀川ヒューテックでは半導体製造プロセスのキーデバイスとしてナノリンクシステムを機器メーカーや装置メーカーに提案。その結果、機器接続仕様に採用する例が増えてきている。ナノリンクシステム関連の２３年度売上高は前期比で約２倍を見込む。「１６年から１０倍以上になっているのでは」（同）と、急速に需要が伸びている。

製造拠点である滋賀工場（滋賀県甲賀市）と淀川プレシジョン（堺市堺区）では、設備更新も含めて射出成形機をほぼ毎年増設している。今後も微細化が進む半導体分野でのニーズ拡大に向け、新しい薬液配管を提案し続け、シェア拡大に力を入れる。