処理装置 小型で安く

樹脂成形メーカーの淀川ヒューテック(大阪府吹田市､小川克己社長)は､半導体や関連装置部品の製造工程から出る廃液の小型処理装置を開発､12月に発売する｡廃液に含まれる有機溶剤を特殊なフィルターで取り除く簡単な方法を採用｡装置を小型化し､低価格を実現した｡廃液処理を専門業者に委託していた中堅･中小企業の需要を開拓する｡

製品名は｢ウォーター･メビウス｣｡最小の機種の処理能力は日量240ﾘｯﾄﾙで､大きさは幅1.2ﾒｰﾄﾙ､奥行き0.8ﾒｰﾄﾙ､高さ2ﾒｰﾄﾙ｡浄化処理の対象はイソプロピルアルコール(ＩＰＡ)やメタノールなどの化学物質｡エッチング後の半導体ウエハーの洗浄や､半導体製造装置部品の表面処理の後の廃液に多く発生するという｡

開発した装置は｢酸化還元法｣と呼ぶ手法を採用した｡廃液に酸化剤や還元剤を添加して液中の水素イオン濃度(ｐＨ)を上げ下げし､イオン化を促進｡目の大きさが異なる2種類のフィルターで､有機溶剤に含まれるイオン化した物質を吸着しやすくしたという｡浄化後の水は工場で再利用したり河川に放流したりできる｡

ＩＰＡは水に溶けやすく､水と分離するのが難しい｡廃液を加熱し､水とＩＰＡに分離する「蒸留方式」を採用する装置もあるが､プラントのような大規模工場向けが多かった｡ 

初期導入費用は最小の機種で2000万円前後｡小型の処理プラントの相当する同4500ﾘｯﾄﾙの装置までを手がけ､注文に応じる｡初期費用とは別に､フィルターの交換や分離工程で使う薬液などの費用が月額60万円程度かかる｡

専門業者に処理を委託する場合と比べると､3年程度で投資額を回収できるという｡今後3年間で15億円の売り上げを見込んでいる｡淀川ヒューテックは､半導体製造装置などに使われる樹脂部品の製造や液晶関連フィルムの張り付け装置の販売が主力｡環境関連分野の強化を今後の事業課題に掲げている｡