装置部品
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PFAロトモールドタンク
PFAとPTFEのみで構成された溶接レスの高純度タンクです。ノズルがPTFE製のためノズルに対し直接ネジ加工等も可能。装置内における省スペース化にも貢献します。半導体業界等において高純度薬液の搬送や圧送供給用のタンクとして使用可能です。
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CSタンク（PFAロトモールドタンク）
ロトモールド成形により溶接レスで漏れの心配をなくした高純度薬液供給用タンクです。特に半導体・液晶製造設備などでよく使用されます。
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PTFE 角槽
フッ素樹脂の耐薬品に優れた特長やその純粋性を活かして、薬液の貯蔵や混合時の槽として使用されています。
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ナノリンク
シールリングを挟み、クランプするだけの簡単接続。新しい接続構造により、これまでにない安全性や省スペース化に貢献。これまでの常識を覆す、新しいカタチの薬液配管システムです。
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