シングル槽
半導体製造装置内などで使用される高純度薬液の貯蔵槽や混合用槽として用いられます。
ダブル槽
ひとつの角槽内に仕切りを設け、同じ槽内に小型の槽が形成されるような構造の槽で半導体製造装置内でのオーバーフロー洗浄用途などに用いられます。
PTFE 角槽
フッ素樹脂の耐薬品に優れた特長やその純粋性を活かして、薬液の貯蔵や混合時の槽として使用されています。
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