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半導体パッケージ基板の搬送

Panel FOUP

Panel FOUP

角型基板向けのFOUP
※FOUP = Front Opening Unified Pod

Panel FOUP

 

半導体パッケージ FO-PLP 生産プロセス向けで開発中

SEMI規格E181に準じた自動化対応品

 

SEMI規格による基板サイズ

・510x515

・600x600

カスタマイズ対応も可能です。

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