Panel FOUP
半導体パッケージ FO-PLP 生産プロセス向けで開発中
SEMI規格E181に準じた自動化対応品
SEMI規格による基板サイズ
・510x515
・600x600
カスタマイズ対応も可能です。
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角型基板向けのFOUP
※FOUP = Front Opening Unified Pod
半導体パッケージ FO-PLP 生産プロセス向けで開発中
SEMI規格E181に準じた自動化対応品
SEMI規格による基板サイズ
・510x515
・600x600
カスタマイズ対応も可能です。
関連する技術はありません。
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